硅片HMDS涂布机台，4寸Wafer hmds烤箱是将 HMDS 涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水， 其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。

HMDS pretreatment system, HMDS oven reducing the contact angle of the silicon wafer after HMDS treatment The amount of photoresist to improve the adhesion of photoresist and silicon.

silicon wafer HMDS烤箱，HMDS OVEN1、预处理性能更好 2、处理更加均匀 3、效率高 4、更加节省药液 5、更加环保和安全 6、低液报警装置 7、可自动吸取HMDS功能 8、可自动添加HMDS功能 9、HMDS药液泄漏报警功能 10、HMDS紧急疏散功能 11、数据记录打印功能

HMDS镀膜烤箱，HMDS真空镀膜系统预处理性能更好，更加均匀；效率高,一次可以处理多达4盒的晶片；更加节省药液；低液报警、防药液泄漏等具有很强的安全保护功能；，有可自动吸取添加HMDS功能，智能型的程式设定，一键完成作业。

智能型HMDS烤箱定做，不锈钢HMDS烘箱预处理性能更好，更加均匀；效率高,一次可以处理多达4盒的晶片；更加节省药液；低液报警、防药液泄漏等具有很强的安全保护功能；，有可自动吸取添加HMDS功能，智能型的程式设定，一键完成作业。

智能型HMDS烘箱，全自动HMDS预处理系统预处理性能更好，更加均匀；效率高,一次可以处理多达4盒的晶片；更加节省药液；低液报警、防药液泄漏等具有很强的安全保护功能；，有可自动吸取添加HMDS功能，智能型的程式设定，一键完成作业。

蓝宝石增粘烘箱， HMDS烘箱将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。