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HMDS气相成底膜烘箱  真空HMDS气相烘箱
HMDS气相成底膜烘箱 真空HMDS气相烘箱

HMDS气相成底膜烘箱 真空HMDS气相烘箱在晶圆上行喷涂hmds预处理的工艺,将晶圆表面亲水性的置换为疏水性的,使晶圆表面接触角达到65或更高。

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HMDS预处理机H-2  智能HMDS真空烘箱
HMDS预处理机H-2 智能HMDS真空烘箱

HMDS预处理机H-2 智能HMDS真空烘箱为半导体应用的光刻胶粘合促进剂工艺设备,

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掩膜版HMDS真空烘箱    hmds烤箱
掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱

掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由亲水性变为疏水性,增强表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。适用于硅片、麟化铟、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料。

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HDMS烘箱  HDMS真空烘箱  HDMS预处理烘箱
HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS预处理烘箱

HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS预处理烘箱保护装置:紧急停止,HMDS药液泄漏报&警提示,HMDS低液位报&警,超温保护,漏电保护,过热保护等

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HMDS真空系统 HMDS预处理系统 图像反转烘箱
HMDS真空系统 HMDS预处理系统 图像反转烘箱

HMDS真空系统 HMDS预处理系统 图像反转烘箱可快速、均匀、经济高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 对晶圆表面进行底漆处理,从而改善光刻胶的附着力。

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HMDS烘箱  图像反转系统 HMDS涂胶机
HMDS烘箱 图像反转系统 HMDS涂胶机

HMDS烘箱 图像反转系统 HMDS涂胶机使用HMDS(六甲基二硅氮烷)对晶圆表面进行快速、均匀、经济高效的涂布,以提高光刻胶的附着力。这些多功能系统还支持图像反转,形成具有与正光刻胶相同的分辨率和易用性的负图像。

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光刻胶HMDS烘箱  HMDS疏水处理烘箱
光刻胶HMDS烘箱 HMDS疏水处理烘箱

光刻胶HMDS烘箱 HMDS疏水处理烘箱应用多晶硅,石英,太阳能电池片、金属、贵金属、蓝宝石、SiC(碳化硅)、磷化铟、GaN(氮化镓)、ZnO(氧化锌)、GaO(氧化镓)、金刚石等第三代半导体材料。

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